質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器的流量單位是什么？（slm/sccm）？
氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。
對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位 時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)，可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干SLM）即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
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