質量流量計實物圖：
下圖：熱式質量流量計顯示表：
熱式質量流量計性能特點：
●量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●準確度：±1%F.S
●線性度：±0.5～1% F.S
●重復精度：±0.2% F.S
●響應時間：10S
●氣壓降： <0.01MP
●最大壓力：10MP
●工作環(huán)境溫度： 5～45℃
●輸出信號：0～+5.00V
●電源：+15V 50mA -15V 200mA
●外形尺寸：158.7*60*198，161.7*60*198可選
●重量：2.5 Kg
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